ガルバノミラー（Galvanometer Mirror）

　ガルバノメーターの回転機構を応用した走査ミラー。ガルバノスキャナーとも呼ばれる。ポリゴンミラーと比べて高速に走査することができるが、回転走査でなく往復瑶動の走査ミラーである。高速回転するためミラーは軽量であることが望まれる。ミラーは厚さ1mm程度のガラスで作られるが軽量化を目的にベリリウムを使用したミラーもある。主にレーザー走査装置に用いられ、レーザーマーカ、トリミング装置などでfθレンズと共に用いられることが多い。2次元走査するので2台使用する。ポリゴンのような面倒れは起きない。

○　

　

　⇒