表面観察(元素分析)

原子間力顕微鏡(AFM)

走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

走査型電子顕微鏡(SEM/EDX、WDX)

Scanning electron microscope

透過型電子顕微鏡(TEM/EDX)

　表面観察(加工観察)

集束イオンビーム(FIB)

　組成分析(元素分析)

蛍光X線分析装置(XRF : X-ray fluorescence spectrometer)

昇温脱離ガス分析装置(TDS)

イオンクロマトグラフ(IC)

キャピラリーイオンアナリシス(CZE)

ガスクロマトグラフマトグラフ(GC)

原子吸光光度計(AAS)

高周波誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP-AES)

液体クロマトグラフ(HPLC)

元素分析計

ガス分析計

熱分析装置(TG/DTA、DSC)

カールフィッシャー水分計

真空発光分光分析

全有機炭素計(TOC)

　表面分析(元素分析)

マイクロオージェ電子分光分析装置(AES)

二次イオン質量分析装置(SIMS)

全反射蛍光X線分光装置(TXRF)

　　Total reflection of X-Ray Fluorescence analyzer。
　　非常に低い角度でＸ線が全反射することを利用して，検出濃度ppb，
　　検出絶対量10-12gの分析を行うことができます。

X線光電子分光分析装置(XPS：X-ray photoelectron spectrometer）

紫外線光電子分光分析装置UPS（Ultra-violet Photoelectron(Photoemission)Spectroscopy）

　結晶構造解析

X線回折装置(XRD : X-ray diffractometer)

　有機構造解析(分子構造、元素分析)

フーリエ変換型赤外分光光度計(FT-IR)

ガスクロマトグラフ質量分析計(GC-MS)

核磁気共鳴分析装置(NMR)

　⇒　分析機器の分類